薄膜现有產品生產反應釜電加熱防爆導熱油爐「歐能機械」

案例典型介紹

微電子材料制造企業的生產線以反應釜爲核心設備，主要用于生產高性能薄膜。由于生產過程中涉及易燃易爆的化學物質，生產區域被劃分爲防爆區域。此前客戶使用的非防爆型導熱油爐已無法滿足安全要求，當地鍋檢局要求進行設備改造，確保符合防爆標准。

客戶的主要控溫對象是反應釜及其連接的管路系統。反應釜內的化學反應對溫度波動極爲敏感，要求控溫精度在±1℃以內。由于反應釜體積較大，導熱油爐需要具備快速升溫和大流量循環的能力，以確保反應釜內溫度均勻分布。

針對客戶的需求，爲其配備了兩台180KW的電加熱防爆導熱油爐。該機型采用正壓防爆設計，完全符合防爆區域的安全標准。導熱油爐的加熱功率爲180KW，配備5.5KW的循環泵，揚程達到50米，能夠滿足大流量循環的需求，確保導熱油的高效輸送。

爲了節省空間，設備采用撬裝設計，將加熱系統、循環泵和控制系統集成在一個緊湊的模塊中，便于安裝和維護。導熱油爐的控溫精度達到±0.5℃，遠超客戶要求的±1℃，確保了反應釜內溫度的穩定性和均勻性。

改造後的電加熱防爆導熱油爐完全滿足了客戶的工藝需求。設備運行穩定，溫度控制精度高，反應釜內的化學反應更加均勻，薄膜现有產品的質量顯著提升。